Электрические вакуумные вводы
Электрические вакуумные вводы
Для питания электрическим током различных устройств, рабо тающих внутри вакуумной камеры, необходимы герметичные элек трические вводы, изолированные от корпуса вакуумной камеры. В зависимости от назначения электрические вводы могут быть низковольтными или высоковольтными, слаботочными или сильноточными, низкочастотными или высокочастотными, низковакуумными или высоковакуумными.
Для подвода электроэнергии к нагревательным элементам широко применяются низкочастотные низковольтные сильноточные вводы. Пример конструкции такого ввода для непрогреваемых вакуумных систем показан на рис. 11.28. В корпусе камеры /7 стакан 10 уплотняется прокладкой 9. Гайка 8 затягивает сальник 12 в корпусе ввода 7. Токосъем 6 уплотняется прокладками 5 в головке 4.
Материалом для прокладок служит резина, а изоляторы 2 могут быть изготовлены из любых сортов вакуумной керами-
Из записанных формул (11.15) и (11.16) видно, что напряжение по внутреннему контуру больше, чем по внешнему.
Во вводах движения в вакуум сильфоны испытывают циклические нагрузки. Для приближенного расчета долговечности сильфона N, выраженной в количестве рабочих циклов или нагружений, которые сильфон может выдержать до разрушения, используется зависимость вида
ки. Во время работы для охлаждения через штуцера 3 и трубку 1 подается вода.
Высоковольтный ввод для сверхвысоковакуумных систем (рис. 11.29, а) приваривается к основанию 7 нижним колпачком 6. Керамика 5 соединяется с колпачками 6 и 4 вакуумно-герметичной пайкой твердыми припоями. Одновременно производится пайка головки 2 и гнезда 3 к верхнему колпачку 4. Центральный стержень 1 завинчивается в гнездо 3.
Для точного измерения температуры при вводе в вакуумную систему термопары нужно стремиться к отсутствию переходных контактов. Ввод, показанный на рис. 11.29, б, позволяет этого достигнуть и может применяться в непрогреваемых вакуумных системах. В корпусе 6 изоляционными втулками 5 и 3 с прокладками 4 уплотняются один или оба провода термопары 1 с помощью накидной гайки 2. Материалом прокладки может служить резина, а изоляционных втулок — фторопласт.