Физико-химические методы получения вакуума
Физико-химические методы получения вакуума
Физико-химические методы получения вакуума позволяют для работы в определенном диапазоне давлений создавать насосы с лучшими, чем у механических, технико-экономическими показателями. Существенное преимущество физико-химических насосов перед механическими заключается- в возможности устранения загрязнения откачиваемой камеры парами рабочих жидкостей, которые присутствуют во многих механических насосах для смазки и герметизации.
Направленное движение предварительно заряженных молекул газа под действием электрического поля является основой работы ионных насосов.
Испарительные насосы работают на принципе хемосорбции. Физическая адсорбция и конденсация используются для откачки
газов криосорбционными насосами: криоадсорбционными и криоконден-сационными.
В связи с тем, что теплота конденсации обычно меньше теплоты адсорбции, криоконденсация одного И того же количества газа наблюдается при более низких температурах, чем криоадсорбция, что делает техническую реализацию криогенной системы криоконденсацион-ного насоса более сложной, чем криоадсорбционного. Преимуществом криоконденсационной откачки является большая быстрота откачки на единицу площади охлаждаемой поверхности.
Принцип ионной откачки совместно с сорбционным используется в конструкциях ионно-сорбционных насосов. Диапазоны рабочих давлений промышленных и лабораторных образцов насосов, работающих на принципах фикизо-химической откачки, показаны на рис. 5.1.